潔凈廠房的設計及管理是半導體制造業(yè)的重要組成部分，它對潔凈度要求嚴、廠房占地大、占用能耗大、運行費用高。因此，半導體技術(shù)必須嚴格控制生產(chǎn)中的各個環(huán)節(jié)要素，包括：潔凈度、溫度與濕度、振動、磁場、靜電和其它有害氣體的流動方向。為提高產(chǎn)品的合格率，保證產(chǎn)品的質(zhì)量與高可靠性，保證廠房的生產(chǎn)環(huán)境中空氣的潔凈度等級達到相應的標準。而這就要求潔凈室內(nèi)不斷存在一定量的凈化后的空氣，用于消除潔凈室內(nèi)各種熱量和濕氣受到的粉塵污染。當前半導體廠房大都使用潔凈空調(diào)中對室外新風過濾的方式來保證生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度。

由于半導體制造業(yè)向中國大規(guī)模轉(zhuǎn)移，國內(nèi)的潔凈廠房越來越多。同時，對半導體產(chǎn)品的要求，潔凈的生產(chǎn)環(huán)境要求不斷提高，潔凈廠房的能耗也在快速增長，高能耗的潔凈廠房也成為一個棘手的問題。由于對潔凈度有著嚴格要求，半導體廠房能耗遠大于一般建筑，對于空調(diào)冷負荷而言，一般建筑為116.3W/m2，而半導體廠房高達1163W/m2；對于建筑送風量，寫字樓空調(diào)房間換氣次數(shù)為10次/h，而大規(guī)模集成電路房間生產(chǎn)需要的潔凈車間換氣次數(shù)可達100次/h，其送風量將會比前者大數(shù)10倍至百倍以上。根據(jù)實測結(jié)果表明，在大多數(shù)有潔凈室的建筑內(nèi)，空調(diào)系統(tǒng)的能耗占有百分比達建筑物總能耗的45%左右。某些半導體生產(chǎn)廠的年空調(diào)系統(tǒng)運行費用高達數(shù)千萬人民幣。